新品发布 | 树脂结合剂碳化硅衬底倒角砂轮

高寿命，崩边缺陷明显改善，大幅优化晶圆边缘倒角加工品质

在碳化硅衬底边缘倒角（Edge Grinding）工序中，磨具的寿命与加工质量始终是一对难以兼顾的矛盾：

为满足半导体客户"高寿命、高精度、高表面质量"的多重要求，杭州芯研科半导体材料有限公司正式推出新型树脂结合剂倒角砂轮系列产品，通过金刚石表面预处理与自研改性树脂结合剂两大核心技术，使树脂结合剂砂轮的寿命达到金属结合剂同等水平，同时保留树脂结合剂在加工质量上的天然优势，明显提升加工品质。

一、产品介绍

芯研科新款树脂结合剂倒角砂轮，具有加工质量优异、形状保持性稳定的特点，砂轮尺寸、槽数及槽型可根据客户需求定制开发，满足高精度、高表面质量的加工要求。

沟槽种类：R型、T型，尺寸与槽数可按客户需求定制。

二、产品技术特点

01 金刚石刻蚀预处理——"机械互锁"强化结合

金刚石原始表面光洁平滑，通过刻蚀工艺在其表面构筑微观凹坑结构，有效扩大比表面积。经过粗糙改性后的金刚石表面，可与树脂结合剂产生**“机械互锁” 作用**，大幅提升金刚石磨粒与树脂结合剂之间的结合强度。

02 金刚石镀覆预处理——"结合桥"实现化学结合

借助表面镀覆工艺，在金刚石表面进行包覆处理。镀层作为金刚石与树脂结合剂之间的**“结合桥”**，把单纯的机械嵌合升级为稳定性更强的化学结合，从根源改善金刚石化学惰性带来的界面结合薄弱、磨粒易脱落等痛点。

03 自研改性树脂结合剂——强力把持高品级金刚石

普通树脂结合剂对金刚石的浸润能力不足，微观形貌磨料颗粒界限清晰，金刚石易脱落。芯研科自主研发改性树脂结合剂，具备更优异的韧性与流动浸润性能，能够充分包覆金刚石磨粒，实现对磨粒的高强度把持。依托该优势，砂轮可采用晶型完整的高品级金刚石，磨粒钝化速率明显降低，产品整体使用寿命得到有效提高。

三、应用案例

客户A：6吋 / 8吋碳化硅衬底 · 粗倒 + 精倒

客户B：8吋碳化硅衬底精倒工序

在采用**更细粒度（2000vs 1500#）的前提下，芯研科树脂倒角砂轮寿命仍较金属结合剂竞品提升约 33% **，且崩边率及崩边尺寸明显降低。

四、结语

芯研科树脂倒角砂轮，通过金刚石表面预处理与自研改性树脂结合剂，突破树脂结合剂"寿命短"的瓶颈，实现金属结合剂的寿命 + 树脂结合剂的加工品质，为碳化硅衬底边缘倒角加工提供兼顾效率与品质的更佳选择。